设备ID:

网络状态: 离线 在线

A腔温度: °C

B腔温度: °C

C腔温度: °C

氧气传感器温度: °C

A腔流量: mL/min

B腔流量: mL/min

C腔流量: mL/min

上腔流量: mL/min

上腔湿度: %RH

氧气浓度: ppm

C腔下腔氮气流量计设定:

-设备上报-

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