设备ID:
网络状态:
离线
在线
A腔温度:
°C
B腔温度:
°C
C腔温度:
°C
氧气传感器温度:
°C
A腔流量:
mL/min
B腔流量:
mL/min
C腔流量:
mL/min
上腔流量:
mL/min
上腔湿度:
%RH
氧气浓度:
ppm
C腔下腔氮气流量计设定:
发送
-设备上报-
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